05µm 1p2m cmos工艺平台。0.5微米栅长, 单层多晶,双层金属. 应用于led电路驱动,工作电压3.3v~5v, (12v,40v 可选)。具有详尽的设计规则,精确的spice模型。
0.5um 1p2mcmos process platform。0.5um gate length,single poly, double metal,application for led driver,core/io voltage:3.3v~5.0v, (12v, 40v optional)。fmic has the elaborate design rule document,and the spice modeling.
1) 工艺特性
ø ø 工作电压3.3v~5v,(12v,40v可选),0.5微米cmos,单多晶,两层金属,双阱工艺。
ø ø 衬底材料为p型、<100>晶向、15~25欧姆.厘米。
ø ø 10块掩模版,13个光刻层。
ø ø 可提供n型只读掩模代码。
ø ø 标准的局部氧化隔离工艺。
ø ø 栅氧厚度为125埃,采用硅化物栅极。
ø ø n/p型轻掺杂漏区和侧壁结构。
ø ø 钛/氮化钛/铝硅铜/氮化钛结构的互连层。
ø ø 氧化硅/氮化硅结构的钝化层。
ø ø imd sog 平坦化工艺。
ø ø 钨塞工艺
2) 典型应用
ø ø dc-ac 转换
ø ø ldo 电路驱动
ø ø 电源管理芯片
ø ø 充电器管理ic
ø ø led电路驱动