06um1p2mcmos工藝平臺。0.6微米柵長, 單層多晶,雙層金屬. 應用於電源管理產品,工作電壓5伏(24v 可選)。具有詳盡的設計規則。
1) 工藝特性
ø 0.6微米cmos,單多晶,兩層金屬,雙阱工藝。
ø 工作電壓5伏(24v 可選)。
ø 襯底材料為p型、<100>晶向、15~25歐姆.釐米。
ø 11塊掩模版,13個光刻層。
ø 可提供n型唯讀掩模代碼。
ø 標準的局部氧化隔離工藝。
ø 柵氧厚度為150埃,採用多晶矽柵極。
ø n/p型輕摻雜漏區和側壁結構。
ø 鈦/氮化鈦/鋁矽銅/氮化鈦結構的互連層。
ø 氧化矽/氮化矽結構的鈍化層。
ø imd平坦化工藝。
2) 典型應用
ø dc-ac 轉換
ø 電源管理晶片
ø 充電器管理ic
ø led電路驅動