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08um1p2mcmos工艺平台。0.8微米栅长, 单层多晶,双层金属. 应用于led电路驱动,工作电压5伏。具有详尽的设计规则。
1) 工艺特性
ø 0.8微米cmos,单多晶,两层金属,双阱工艺。
ø 工作电压5伏。
ø 衬底材料为n型、<100>晶向、4~7奥姆.厘米。
ø 11块掩模版,12个光刻层。
ø 可提供n型只读掩模代码。
ø 标准的局部氧化隔离工艺。
ø 栅氧厚度为200埃,采用多晶硅栅极。
ø n/p型轻掺杂漏区和侧壁结构。
ø 钛/氮化钛/铝硅铜/氮化钛结构的互连层。
ø 氧化硅/氮化硅结构的钝化层。
ø imd 平坦化工艺。
2) 典型应用
ø dc-ac 转换
ø 电源管理芯片
ø 充电器管理ic
ø led电路驱动